气敏传感器的工作原理
气敏传感器的工作原理是利用声波器件表面的波速和频率会随外界环境的变化而发生漂移。
当气敏薄膜与待测气体相互作用(化学作用或生物作用,或者是物理吸附),使得气敏薄膜的膜层质量和导电率发生变化时,引起压电晶体的声表面波频率发生漂移;气体浓度不同,膜层质量和导电率变化程度亦不同,即引起声表面波频率的变化也不同。通过测量声表面波频率的变化就可以获得准确的反应气体浓度的变化值。
此外,气敏传感器的核心部件是一个含有敏感材料的传感元件,通常采用热敏电阻或半导体材料。当待检测气体与传感元件接触时,会发生化学反应或物理吸附作用,使得传感器的电阻值发生变化。通过测量电阻值的变化,可以确定气体浓度的大小。
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